工學院土木系張陸滿名譽教授榮膺 107學年度高科技廠房工程講座

國際半導體產業協會(Semiconductor Equipment & Materials, International, SEMI)高科技廠房設施委員會(High-Tech Facility Committee),為提升本校工學院在高科技廠房工程領域之水準,鼓勵傑出學者專家引導高科技廠房之營造建築、結構振動、污染防治、節能減碳、環境保護等工程之研發方向與應用,特設立高科技廠房工程講座,以發揚學術典範及科技創新精神。捐贈單位提供1個名額,獲獎人每人每年獎金新臺幣50萬元,講座任期3年,期滿可再重新接受推薦或評選;曾獲2屆本講座者,即成為終生榮譽,不再接受推薦或評選。本學年度獲獎人為土木系張陸滿名譽教授。

張陸滿名譽教授在1971年畢業於成功大學土木系,於1974年到1977年期間,張教授在臺灣工業技術研究院服務,負責該院竹東頭重埔中興院區之規劃監造,並協助昔時的電子研究中心,設計建造了臺灣第1座積體電路示範工廠(Integrated Circuit Demonstration Plant),此間並於1976年獲派遣到美國RCA,參觀學習該公司在美國各地半導體廠之規劃設計營運等技術。

於1977年完成建造後,他即赴美國德州大學奧斯汀分校深造,並於1983年取得營建工程及計畫管理碩博士學位。於1983至1985年間,張教授在美國佛羅里達大學(University of Florida at Gainesville)的建築學院營建系任教。從1986年起,張教授轉到普渡大學(Purdue University at West Lafayette)之土木工程系營建工程管理組任教。在2006年的秋季班開始,張教授返回臺灣在臺灣大學土木工程學系繼續從事教學研究,並於2016年8月從臺大榮譽退休。目前張教授仍在臺大永續發展研究中心主持專案研究計晝,並擔任臺大土木系高科技廠房設施研究中心主任暨兼任教授。

在2000年初,當半導體之製程技術縮小到100奈米以下時,張教授即知土木工程在廠房設施之興建營運之角色會越趨重要,於是就開始要將土木工程與半導體廠房工程的設計和施工管理連結起來,因為廠房是高科技製造不可或缺的一部分,要製造必先有廠房設施。

因此,張教授目前的研究興趣是在低於5奈米製程及450mm(18吋)晶圓廠,在廠房設施所需之關鍵技術,以及運用3D廠房資訊模擬來管控廠房工程專案的時程(4D)。

張教授發表過超過250篇的論文,接受超過200場國內外邀請的專題演講,完成了17名博士生和75名碩士生,並與其他專家學者擁有20項技術專利。張教授曾前後在佛羅里達大學與普渡大學榮獲年度優教師獎(1985/ 1993/ 2004/ 2005),成功大學土木系傑出校友獎(2010),中華潔淨技術學會終生成就獎(2015),第20屆營建工程與管理研討會首次頒發的傑出奉獻獎(2016),中國工程師學會紀念石延平教授最佳論文獎(2018)。